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반도체용 가스

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IC·메모리·액정·태양 전지 등의 반도체 제조용 특수 재료 가스를 생산하고 있습니다

NH3, CO, NO, C3H6 등

스페셜티 가스

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고순도 가스 등을 생산하고 있습니다

JCSS 표준 가스

가스 화학

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전자재료 도중에 황을 중시한 유기재료(업 약품)나 업

산업용 약품: 티오페놀
케미컬 가스: 액화 황화수소

엔지니어링

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PSA 기술을 이용한 가스 발생 장치

O2-PSA 장치, He 회수 정제 장치 등

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